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真空系统分压侧量应用范围

时间:2016-11-28 15:36?? 来源:www.ziboqunying.com??编辑:aadmin

  淄博真空泵真空系统分压侧量应用范围,主要有三点:

  1.真空和衰面物理研讨

  对于通常的真空研讨,真空剖析质谱计的主要用途是剖析真空体系内的剩余气体。而对外表研讨来说,现在已逐渐将真空质谱计和低能电子衍射仪、俄歇电子谱仪、二次离子质谱计、化学剖析电子谱仪和场致发射显微镜等仪器联合运用,用来研讨低压力下的真空物理进程。通常在10-9Pa以致更低的压力下进行分压力侧量。因为选用的真空体系大都为无油或少油的真空泵,所以通常并不要求质谱计有很宽的质量范围。

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  2.专用器材(如电子显微镜、X射线管、阴极射线管和大型超高频电真空器材)的残气剖析在这一类使用中,不像外表物理研讨那样,需求检侧那么低的分压力,而希望仪器具有较宽的工作质量范围,最少具有能检测真空泵油的裂解物的才能。

  3.薄膜技术

  制备薄膜时,用真空剖析器操控其技术进程是必要的。在燕发技术中,主要是削减残气气氛以避免氧化;在溅射技术中则重视所充气体纯度,如操控氢和氧的杂质含量。



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